蘇州納云機電科技有限公司自主研發(fā)的高低溫真空模組實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地,成功打破極端環(huán)境精密運動設(shè)備的技術(shù)壁壘,將實驗室中的科研成果轉(zhuǎn)化為可規(guī)?;a(chǎn)、適配多行業(yè)需求的主要裝備,為半導(dǎo)體制造、高級科研等領(lǐng)域注入新動能,彰顯了我國特種機電設(shè)備領(lǐng)域的創(chuàng)新實力。
高低溫真空模組作為適配極端場景的特殊主要部件,其性能直接決定了相關(guān)設(shè)備的穩(wěn)定性與精度。此前,該類產(chǎn)品因技術(shù)門檻高,面臨耐極端環(huán)境性能不足、成本偏高、維護難度大等痛點,部分高級產(chǎn)品依賴進(jìn)口,制約了國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展與科研成果的轉(zhuǎn)化落地。
聚焦這一行業(yè)痛點,納云機電依托多年在超高真空、高低溫、耐輻射環(huán)境精密運動系統(tǒng)領(lǐng)域的技術(shù)積累,組建專業(yè)研發(fā)團隊,深入高校實驗室與企業(yè)生產(chǎn)**,準(zhǔn)確對接科研與產(chǎn)業(yè)需求,歷經(jīng)反復(fù)試驗打磨,成功突破特殊低出氣率材質(zhì)選型、一體化密封結(jié)構(gòu)設(shè)計等主要技術(shù)。據(jù)悉,該公司研發(fā)的高低溫真空模組可滿足10??Pa超高真空度、-196℃至200℃寬溫域工作需求,部分產(chǎn)品可擴展抗沖擊、耐輻射等性能,精度與穩(wěn)定性達(dá)到行業(yè)水平。
科研成果的價值,好終要體現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用上。為推動模組從實驗室走向生產(chǎn)線,納云機電建立了集研發(fā)、生產(chǎn)、檢測、售后于一體的完整產(chǎn)業(yè)化體系,優(yōu)化生產(chǎn)工藝,實現(xiàn)主要部件的自主量產(chǎn),有效降低了產(chǎn)品成本與維護難度。同時,公司準(zhǔn)確對接科研機構(gòu)需求,為中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、上海交通大學(xué)等高校定制研發(fā)無限遙控真空二維滑臺、非標(biāo)二維真空滑臺等產(chǎn)品,適配不同科研場景的個性化需求,實現(xiàn)了科研與產(chǎn)業(yè)的同頻共振。
目前,納云高低溫真空模組已成功應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓處理設(shè)備、高級科研測試平臺等領(lǐng)域,在化學(xué)機械拋光、薄膜沉積等環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用,還憑借定制化優(yōu)勢與高性價比,獲得了市場廣為認(rèn)可。作為國家高新技術(shù)企業(yè),納云機電始終堅持“科研賦能產(chǎn)業(yè)、創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展”的理念,持續(xù)推動科研成果與生產(chǎn)需求深度融合,助力國內(nèi)特種機電設(shè)備產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
納云高低溫真空模組的產(chǎn)業(yè)化落地,不僅解決了極端環(huán)境精密運動設(shè)備的國產(chǎn)化難題,更搭建了科研成果向產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化的橋梁,為我國高級裝備制造業(yè)自主創(chuàng)新提供了可借鑒的路徑。未來,隨著技術(shù)的持續(xù)迭代升級,該類產(chǎn)品將進(jìn)一步拓展應(yīng)用場景,為更多領(lǐng)域的科研創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級提供主要支撐。