蘇州納云機(jī)電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“納云機(jī)電”）正式發(fā)布新一代10??Pa級(jí)超高真空減速機(jī)，該產(chǎn)品憑借特殊材料選型與創(chuàng)新密封工藝，成功實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境下的穩(wěn)定精密傳動(dòng)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)相關(guān)領(lǐng)

域的技術(shù)空白，為半導(dǎo)體制造、航天科技等高級(jí)裝備產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供主要支撐。

在半導(dǎo)體晶圓傳輸、航天空間模擬設(shè)備等高級(jí)應(yīng)用場(chǎng)景中，傳動(dòng)系統(tǒng)需在近乎零氣壓的超高真空環(huán)境下運(yùn)行，普通減速機(jī)易出現(xiàn)密封失效、材料釋氣等問(wèn)題，導(dǎo)致傳動(dòng)精度下降甚至設(shè)備故障。據(jù)行業(yè)數(shù)

據(jù)顯示，10??Pa級(jí)別的超高真空適配能力，是當(dāng)前高級(jí)精密制造領(lǐng)域?qū)鲃?dòng)設(shè)備的主要訴求之一，此前該領(lǐng)域技術(shù)長(zhǎng)期被國(guó)外品牌壟斷。

納云機(jī)電此次推出的超高真空減速機(jī)，通過(guò)三大主要技術(shù)創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)突破：一是采用低釋氣特種合金材料與全焊接殼體設(shè)計(jì)，將設(shè)備出氣率嚴(yán)格控制在10?1? Pa·m3/s級(jí)別，確保真空環(huán)境潔凈度；二是搭載

定制化磁流體軸封系統(tǒng)，徹底解決傳統(tǒng)密封結(jié)構(gòu)在超高真空下的泄漏難題，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行；三是優(yōu)化齒輪嚙合精度與低溫潤(rùn)滑方案，在-30℃至120℃寬溫域范圍內(nèi)，仍能保持≤5弧分的傳動(dòng)精度，適

配多場(chǎng)景極端工況。

“這款產(chǎn)品的研發(fā)歷時(shí)兩年，經(jīng)過(guò)上百次真空環(huán)境測(cè)試與性能迭代，終實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破?！奔{云機(jī)電技術(shù)負(fù)責(zé)人表示，該產(chǎn)品不僅打破了國(guó)外技術(shù)壁壘，更在模塊化設(shè)計(jì)上實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新，方便后續(xù)維護(hù)升級(jí)與

系統(tǒng)集成，大幅降低客戶應(yīng)用成本。目前，該產(chǎn)品已通過(guò)機(jī)構(gòu)真空性能檢測(cè)，相關(guān)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

作為專注于極端環(huán)境傳動(dòng)設(shè)備研發(fā)的本土企業(yè)，納云機(jī)電長(zhǎng)期深耕真空、高低溫等特種工況減速機(jī)領(lǐng)域。此次10??Pa級(jí)超高真空減速機(jī)的推出，不僅彰顯了企業(yè)的技術(shù)研發(fā)實(shí)力，更推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)精密傳動(dòng)

設(shè)備的高級(jí)化進(jìn)程。該產(chǎn)品的批量投產(chǎn)，將有效緩解國(guó)內(nèi)高級(jí)裝備企業(yè)對(duì)進(jìn)口真空減速機(jī)的依賴，為半導(dǎo)體制造、深空探測(cè)等國(guó)家戰(zhàn)略領(lǐng)域的發(fā)展注入本土動(dòng)力。

業(yè)內(nèi)專業(yè)指出，隨著裝備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速，特種工況減速機(jī)的市場(chǎng)需求持續(xù)攀升。納云機(jī)電此次技術(shù)突破，為行業(yè)樹(shù)立了國(guó)產(chǎn)替代新標(biāo)準(zhǔn)，未來(lái)有望進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)精密傳動(dòng)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)升級(jí)與全球

競(jìng)爭(zhēng)力提升。